廣州譚美電子科技有限公司

Surface Tech Sys Multiplex ICP

Original Equipment Manufacturer : STS (Surface Tech Sys)
Model: STS Multiplex single wafer manual load lock ASE ICP Etching
Typical Application: Si ICP Etch
Condition: Used
Key Features:
Configuration:
Wafer Material: Si or others
Wafer Size: 6 inch
Wafer Thickness: 0.2~1.0 mm
Load lock
E-Chuck.
Loadlock Capability:3，4，5，6，8 inch
LEYBOLD 1000 turbo pumps
Remote Gas control Gas Box with 5 gas line configuration
a. -SF6
b. -C4F8
c. -C4F8
d. -O2
e. -Ar
Dry pumps models: QDP80 for process chamber
Edwards 40 Vacuum Pump for loadlock
Helium Back side cooling
Generators : ENI ACG3 for Bias ACG10 for Coils VL400 Phase Shift Controller
STS AC Box
STS Purge Panel Assembly
Chiller: Neslab CFT-75
 

廣州譚美電子科技有限公司（www.tanmytech.com）（ sales@tanmytech.com）代理多家美、歐一流的半導體設備公司的產(chǎn)品，公司主要經(jīng)營高真空磁控濺射設備、量測設備、涂膠顯影設備、PECVD設備、RIE/ICP/DRIE深刻蝕設備、電子掃描顯微鏡、快速退火、等離子去膠、等離子刻蝕、電子束蒸發(fā)、濕法工藝設備。

我們擁有廣泛的采購網(wǎng)絡、強大的專業(yè)設備服務隊伍、先進的質量檢驗檢測手段和國際領先的軟件開發(fā)和升級技術，可為客戶提供各類進口半導體設備及備品備件、并提供長期優(yōu)質的售后服務及技術支持保障。通過技藝精湛的設備生產(chǎn)、翻新，保證我們的設備具有出色的運作表現(xiàn)，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產(chǎn)成本。
TanmyTech(www.tanmytech.com)致力于為客戶提供完善的服務與支持，以高質量的產(chǎn)品、優(yōu)質的服務、合理的價格來滿足各類客戶需求是我們一貫的經(jīng)營理念和宗旨，為中國半導體工業(yè)、微電子工業(yè)、航天航空、研究機構、高等院校、私營和合資企業(yè)提供優(yōu)質設備和售后服務，為廣大用戶提供高科技、高性價比產(chǎn)品，確保用戶核心利益，全力滿足用戶的需求，為他們提供專業(yè)的技術、專注的服務，共創(chuàng)雙贏互利的合作關系。

經(jīng)營產(chǎn)品：

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零件銷售：

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