單/多晶硅靶材
純度:硅99.999%以上
密度:2.33g/cm3
類型:多晶摻硼、單晶硅
生產(chǎn)工藝:直拉/鑄造
電阻率:≤0.2ohm.cm
最大尺寸:300mm×150mm×(6~10)mm
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